概述：

        在超高真空下通过蒸镀生长碱金属光阴极薄膜材料；系统主要包括制备室、装载室和转移室；制备室静态极限真空≤8E-10Pa，转移室静态极限真空≤1E-9Pa，装载室静态极限真空≤2E-8Pa；能在线测量光电流，能实现光阴极基底的温控，基底加热温度达600℃，能实现阴极在各室之间的传递。