概述：

       在超高真空下通过蒸镀生长砷化镓光阴极薄膜材料；系统主要由导入室、制备室和储藏室组成；极限真空指标为：导入室≤6E-8Pa，制备室≤7E-9Pa，储藏室≤5E-10Pa；基底加热温度达600℃，能进行光电流测量，能在各室之间进行阴极的传递，能将阴极传递到电子枪。