概述：
包括2个制备室（φ400mm）和1个load-lock室，样品可以在两个腔室内相互传递；每个制备室内可以安装3-7个溅射源。
专注于真空、粒子加速器领域内的技术服务、技术咨询，以及非标设备和系统的研发。
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